Publications - Book Chapters - ARCNL

J. Sheil, J. Colgan and O.O. Versolato: Atomic Origins of EUV Light In: Photon Sources for Lithography and Metrology, V. Bakshi, Ed., SPIE Press, Bellingham, Washington, SPIE-Intl Soc Optical Eng, 2023. - pp. 111-148
J.W.M. Frenken: Van grensvlakfysica tot nanolithografie In: Natuurkundige Voordrachten 2016-2017, Koninklijke Maatschappij voor Natuurkunde Diligentia, 2017.

Partners:

Visiting address

Science Park 106
1098 XG Amsterdam
The Netherlands

Delivery address

Science Park 102
1098 XG Amsterdam
The Netherlands

Mail address

PO Box 93019
1090 BA Amsterdam
The Netherlands

T. +31 20 8517100
E-mail: arcnlsecretariaat@arcnl.nl

© ARCNL 2024