Laserschieten op tindruppels

Publication date
Reference H. Gelderblom and O.O. Versolato, Laserschieten op tindruppels, NTvN 83, 11: 382-385 (2017)
Group EUV Plasma Processes

Een laserpuls versnelt een microscopisch tindruppeltje met een miljard keer de zwaartekrachtversnelling, waardoor de druppel vervormt. Een eerste laserpuls zorgt voor een dunne pannenkoek en een volgende zorgt voor de volledige desintegratie van het druppeltje tot in een plasma. Dit tinplasma wordt in de nieuwste generatie chipmachines van ASML gebruikt om extreem ultraviolet licht op te wekken om daarmee de kleinste structuren te ‘printen’ op plakken halfgeleidermateriaal en zo geïntegreerde schakelingen mogelijk te maken. Belangrijk in dit proces is een tindruppeltje te vervormen tot een dunne pannenkoek zonder dat deze uiteenspat. Onderzoekers van het Advanced Research Center for Nanolithography (ARCNL) en de vakgroep Physics of Fluids aan de Universiteit Twente werken samen met ASML aan een beter begrip van de onderliggende plasma- en vloeistoffysica.